Die Beschichtungsanlage ILA 900 des Fraunhofer-Institutes FEP dient als Versuchsanlage für die Entwicklung von Beschichtungstechnologien zur Abscheidung von Einzelschichten und Schichtsystemen zur Veredelung von Flachsubstraten.
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Fraunhofer-Institut für Elektronenstrahl- und Plasmatechnik FEP, Dr. Ullrich Hartung, Winterbergstraße 28, 01277 Dresden, Tel. 0351-2586-333 (Sabine Kempe, PR)